介紹壓力傳感器的原理所在
2022-06-10標簽:壓力傳感器
壓力傳感器的機械接收原理就是建立在此基礎上的。相對式測振儀的工作接收原理是在測量時,把儀器固定在不動的支架上,使觸桿與被測物體的振動方向一致,并借彈簧的彈性力與被測物體表面相接觸,當物體振動時,觸桿就跟隨它一起運動,并推動記錄筆桿在移動的紙帶上描繪出振動物體的位移隨時間的變化曲線,根據這個記錄曲線可以計算出位移的大小及頻率等參數。
壓力傳感器的敏感元件與被測對象互不接觸,又稱非接觸式測溫儀表。這種儀表可用來測量運動物體、小目標和熱容量小或溫度變化迅速(瞬變)對象的表面溫度,也可用于測量溫度場的溫度分布。zui常用的非接觸式測溫儀表基于黑體輻射的基本定律,稱為輻射測溫儀表。輻射測溫法包括亮度法(見光學高溫計)、輻射法(見輻射高溫計)和比色法(見比色溫度計)。
各類輻射測溫方法只能測出對應的光度溫度、輻射溫度或比色溫度。只有對黑體(吸收全部輻射并不反射光的物體)所測溫度才是真實溫度。如欲測定物體的真實溫度,則必須進行材料表面發射率的修正。而材料表面發射率不僅取決于溫度和波長,而且還與表面狀態、涂膜和微觀組織等有關,因此很難測量。
在自動化生產中往往需要利用輻射測溫法來測量或控制某些物體的表面溫度,如冶金中的鋼帶軋制溫度、軋輥溫度、鍛件溫度和各種熔融金屬在冶煉爐或坩堝中的溫度。在這些具體情況下,物體表面發射率的測量是相當困難的。對于固體表面溫度自動測量和控制,可以采用附加的反射鏡使與被測表面一起組成黑體空腔。附加輻射的影響能提高被測表面的有效輻射和有效發射系數。
壓力傳感器是70年代初期出現的一種圖象傳感器。固體陣列是一種線型或面型的光電轉換元件。其中用得較多的是電荷耦合器件。它是一種在硅芯片的一面沉積柵電極結構的器件。柵電極和長度傳感器硅芯片間有一層約為0.1~0.12微米厚的SiO2透明絕緣層,形成電容陣列。
由于柵電極可以透光,硅芯片是一種光敏材料,當光照射在其上時,在內部產生電荷載流子,并被收集和存儲在硅芯片的勢阱中。勢阱是當在柵電極上加正電壓時,在電場的作用下,與電極相鄰的硅芯片表面的正電荷被推離后形成的一個耗盡層。
存儲在勢阱中的電荷載流子,在適當的時候會穿透芯片,經電荷放大器后輸出。勢阱是芯片中的分立單元,其分辨率可達0.01毫米或更高。將被測尺寸、圖象等以光掃描或投影等方法投射在電荷耦合器件上時,光信號即轉換為電信號輸出,經電路處理后即可得到被測尺寸等的量值。
固體陣列壓力傳感器適用于小型復雜形狀工件的多尺寸自動測量。一次投影或光掃描可以測量幾十個尺寸。光導纖維傳感器主要用于測量微小位移和精密定位。
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