Joule Yacht 薄膜熱導率測試系統 TCT 產品特點
不直接測量溫度變化，而是通過測量材料在導熱過程中溫度的變化轉換為的電信號的變化來實現微/納米薄膜材料的熱導率，微伏級電壓值，保證測量結果的高精確度。
采用交流電加熱方式，同時選擇并優化設計加熱電極的形狀與尺寸，可保證加熱均勻性及測試應用的廣泛性、準確性與穩定性。
待測薄膜樣品金屬尺寸極小，能有效減小黑體輻射引起的測量誤差。
友好的軟件界面。
Joule Yacht 薄膜熱導率測試系統 TCT 技術參數
型號 | TCT-HT | ||
溫度范圍 | RT-500K | ||
測試對象 | 半導體薄膜、導電薄膜、絕緣薄膜等 | ||
熱導率測量范圍 | 0.1-10W/(m·K)(可擴展至2000W/(m·K)) | ||
測試精度 （熱導率） | ±5%(在Si上測量)，±10%（其他） | ||
適合氛圍 | 真空 | ||
樣品尺寸 | 長 x 寬：(5-10)x(5-10)，單位mm,薄膜厚度≥100nm | ||
其他注意事項 | 測量導電薄膜時，需要沉積絕緣層（*：Sio2），薄膜表面要非常光滑，確保絕緣層不漏電；襯底熱導率要遠大于薄膜熱導率，*使用Si、AIN等高熱導襯底。 | ||
主機尺寸 | 710 x 600 x 490，單位mm | ||
重量 | 80kg
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薄膜熱導率測試系統測試實例
