1.薄膜壓力傳感器主要特點

1. 靈敏度高： 　硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50～100倍，故相應(yīng)的傳感器靈敏度很高，一般滿量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它是一種非機械結(jié)構(gòu)傳感器，因而分辨率*，國外稱之無限，即主要受限于外界的檢測讀出儀表限制及噪聲干擾限制，一般均可達傳感器滿量程的十萬分之一以下。硅壓阻傳感器在零點附近的低量程段無死區(qū)，且線性優(yōu)良。 　2. 精度高： 　由于固態(tài)壓阻壓力傳感器的感受，敏感轉(zhuǎn)換和檢測三部分由同一個元件實現(xiàn)，沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以不重復(fù)性和遲滯誤差極小。同時由于硅單晶本身剛度很大，形變很小，保證了良好的線性，因此綜合靜態(tài)精度很高。 　3. 體積小、重量輕、動態(tài)頻響高： 　由于芯體采用集成工藝，又無傳動部件，因此體積小，重量輕。小尺寸芯片加上硅*的彈性模數(shù)，敏感元件的固有頻率很高。在動態(tài)應(yīng)用時，動態(tài)精度高，使用頻帶寬，合理選擇設(shè)計傳感器外型，使用帶寬可以從零頻至100千赫茲。 　4. 性能穩(wěn)定、可靠性高： 　由于工作彈性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級，彈性薄膜位移在亞微米數(shù)量級，因而無磨損、無疲勞、無老化。壽命長達107壓力循環(huán)次以上。 　5. 溫度系數(shù)小： 　由于微電子技術(shù)的進步，四個應(yīng)變電阻的*性可做的很高，加之激光修調(diào)技術(shù)、計算機自動補償技術(shù)的進步，目前硅壓阻傳感器的零位與靈敏度溫度系數(shù)已可達10-5/℃數(shù)量級,即在壓力傳感器領(lǐng)域已超過溫度系數(shù)小的應(yīng)變式傳感器的水平。 　6. 適應(yīng)介質(zhì)廣： 　由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能，與硅油的良好可兼容性，使得隔離式結(jié)構(gòu)易于實現(xiàn)，即使非隔離型的壓阻壓力傳感器，也有相當程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。 　7. 安全防爆： 　由于其低電壓、低電流的低功耗特點，它是本質(zhì)安全防爆型產(chǎn)品，可廣泛用于各種化工工業(yè)檢測控制等領(lǐng)域，具有優(yōu)性價比。

2.薄膜壓力傳感器原理分

壓阻壓力傳感器的原理是敏感芯體受壓后產(chǎn)生電阻變化,再通過放大電路將電阻的變化轉(zhuǎn)換為標準信號輸出。 　目前壓阻式芯體通用的有三類： 　1、應(yīng)變原理: 　1）結(jié)構(gòu): 將壓敏電阻以惠司通電橋形式與應(yīng)變材料(通常為不銹鋼)結(jié)合在一起。 　2）特點: 過載能力,抗沖擊壓力強靈敏度較低 ,適合于測量500kpa以上的高量程范圍,高可達500mpa強度高,耐振動,不易損壞溫度漂移小高量程(1mpa以上)線性很好,精度高硬性膜片結(jié)構(gòu),適合測量與應(yīng)變材料兼容的各類介質(zhì)。 　2、陶瓷壓阻原理: 　1）結(jié)構(gòu):將壓敏電阻以惠司通電橋形式與陶瓷燒結(jié)在一起。 　2）特點:過載能力較應(yīng)變原理較低,抗沖擊壓力較差靈敏度較高,適合于測量50kpa以上的高量程范圍,高量程40mpa耐腐蝕,溫度范圍較寬。 　3、擴散硅硅原理： 　1）結(jié)構(gòu):在硅片上注入粒子形成惠司通電橋形式的壓敏電阻。 　2）特點:靈敏度很高,精度高,適合于測量1kpa～40mpa的范圍,過壓能力較強抗沖擊壓力較好溫度漂移較大分為帶隔離膜片和非隔離膜片2類,非隔離膜片只能測干凈 的氣體,隔離膜片為軟性膜片,不適合測量粘稠的介質(zhì)

3.應(yīng)用領(lǐng)域

壓阻壓力傳感器可廣泛用于工業(yè)設(shè)備、水利、化工、醫(yī)療、電力、空調(diào)、金剛石壓機、冶金、車輛制動、樓宇供水等壓力測量與控制。