BPG400 大氣壓至超高真空真空計
INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從
5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。 多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。
選擇BPG400真空計，價格經濟，且可重復測量基準壓力。
益處
- 測量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
- 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優良可重復性
- 皮拉尼聯鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
- 使用壽命長的氧化釔銥絲
- 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
- 高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
- RoHS 合規
- 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制
典型應用
- 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
- 工業鍍膜
- 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制
零件號
| BPG400 | |
|---|---|
| 零件號 | 明細 |
| 353-500 | BPG400 規管 |
| 353-500-11 | BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
| 353-500-I0 | BPG400規管 |
| 353-502-A | BPG400規管 |
| 354-498 | Spare electronic BPG400 without Display |
| 354-499 | Spare electronic BPG400 with Display |
| 353-501 | BPG400 規管 |
| 353-502 | BPG400 規管 |
| 353-503 | BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| 353-505 | 復合真空規 |
| 353-506 | BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| 353-507 | BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
| 353-508 | BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
規格
| 類型 | BPG400 | |
|---|---|---|
| 測量范圍（空氣、O2、CO、N2） | mbarTorr | 5×10-10 … 1000 |
| 精度 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | ±15 |
| 可重復性 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
| 除氣 (1) | ||
| p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
| 壓力，大 | bar (absolute) | 2 |
| 溫度 | ||
| 運行（環境） | °C | 0 … +50 |
| 貯存 | °C | -20 … +70 |
| 在法蘭處烘烤，有延伸件 | °C | 150 |
| 在法蘭處烘烤，無延伸件 | °C | 80 |
| 移除烘烤電子設備 | °C | 150 |
| 電源電壓 | V (dc)A (dc) | +20 … +28 |
| 輸出信號模擬 | ||
| 輸出信號 | V | 0 … +10 |
| 測量范圍 | V | +0.774 … +10 |
| 電壓與壓強 | volts per decade | 0.75 |
| 錯誤信號 | V | 0.3 / 0.5 |
| 小負載電阻 | k? | 10 |
| 接口（數字）(2) | RS232C | |
| 電氣連接 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 電纜長度，大 (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| 內部容積 KF / CF | cm3 (in.3) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
| 重量 KF / CF | g | 285 / 550 |
| 保護等級 | IP30 | |
| Profibus DP | ||
| 波特率 | kBaudMbaud | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 |
| 地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
| 數字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 設定點繼電器： 設定點數量 | 2 | |
| 設定點繼電器： 范圍 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 設定點繼電器： 繼電器觸點 | n.o., potential free | |
| 設定點繼電器： 滯后 | % of reading | 10 |
| 設定點繼電器： 觸點額定值 | V (dc)A (dc) | 60 |
| Profibus DP 連接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
| BPG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| DeviceNet? | ||
| 協議 | DeviceNet?, group 2 slave only | |
| 數據率開關 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 電纜長度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
| 電纜長度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
| 電纜長度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
| MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
| 數字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 技術規格 | DeviceNet? "Vacuum Gauge Device Profile" | |
| 設備類型 | ''CG'' for combination gauge | |
| I / O 從屬傳訊 | polling only | |
| 設定點繼電器： 設定點數量 | 2 | |
| 設定點繼電器： 范圍 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 設定點繼電器： 繼電器觸點 | n.o., potential free | |
| 設定點繼電器： 滯后 | % of reading | 10 |
| 設定點繼電器： 觸點額定值 | V (dc)A (dc) | 60 |
| DeviceNet? 電源電壓 | V (dc)A (dc) | +11 … +25 |
| 真空計電源電壓 | V (dc)A (dc) | +20 … +28 |
| DeviceNet? 連接器 | Microstyle, 5-pin | |
| BPG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
1) 除氣期間降低精度
2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列，不允許使用現場總線
3) 適用于 RS232C 運行 <30m
