| 機(jī)構(gòu)·方式 | 多孔質(zhì)靜壓空氣軸承 · 工作臺(tái)回轉(zhuǎn)式 |
|---|---|
| 半徑方向 回轉(zhuǎn)精度 | (0.04+0.0005H)um （EC1850H） (0.02+0.0003H)um （EC3300H） H:工作臺(tái)面上算起的高度(mm) |
| 測定徑 | 內(nèi)外徑都是Φ450mm |
| 積載質(zhì)量 | 30kg |
| 上下移動(dòng)量 | 400mm (使用b觸針臂時(shí)） |
全姿勢檢出器：
利用長探針桿臂以及新開發(fā)“one touch”式檢出器holder可自由進(jìn)入深穴、平面、傾斜面……等測定點(diǎn)。另有防止探針落差過大之保護(hù)機(jī)構(gòu)。
一，R/Z軸自動(dòng)停止裝置：
檢出器半徑方向或上下方向，利用伺服控制，可自動(dòng)找出測定位置，幾乎無需手動(dòng)微調(diào)整，操作性大幅上揚(yáng)。
此方式，可從直線圖形上，任何位置直接之，使操作上更加方便，無需細(xì)微調(diào)整。
三，多孔質(zhì)靜壓空氣軸承系統(tǒng)：
Kosaka的多孔質(zhì)靜壓空氣軸承系統(tǒng)工作臺(tái)，由于特殊設(shè)計(jì)，有以下特點(diǎn)：
1、具高剛性高負(fù)荷能力，故對偏負(fù)荷以及外部震動(dòng)有強(qiáng)力之抑制能力。
2、壓力分布性均勻、安定性的情況下，可得到高回轉(zhuǎn)精度。
3，空氣消耗量非常之少（為傳統(tǒng)的1/3），穩(wěn)定度高并可達(dá)經(jīng)濟(jì)之效果。
有以上三特點(diǎn)，即是為了達(dá)到高精度，安定性之測量結(jié)果的堅(jiān)強(qiáng)保證。
四，多孔質(zhì)靜壓空氣軸承系統(tǒng)：
可連續(xù)測定128斷面，而進(jìn)行自動(dòng)測定。
