1、控制模式：開環(huán)控制和閉環(huán)控制
2、易于集成：可與國產(chǎn)自動壓強(qiáng)控制儀配套使用，來實現(xiàn)閉環(huán)控制，達(dá)到穩(wěn)定壓強(qiáng)的目的，
同時亦可選擇進(jìn)口壓強(qiáng)控制儀
3、響應(yīng)時間快
4、性能穩(wěn)定，壓電陶瓷片壽命長
6、無機(jī)械連接件，無伺服馬達(dá)，無磨損，在斷電的情況下可實現(xiàn)自動關(guān)閉的特點
PEV-1壓電閥技術(shù)參數(shù)：
閥門類型： 壓電晶體
可控制的氣體： 兼容各種材料
流量范圍： 0？500 SCCM
漏率： <1x10？9 scc/sec（1ATM HE
ON INLET）
響應(yīng)時間： 2微秒
進(jìn)氣壓力： 50 PSI
驅(qū)動要求：電壓： 0？100 VDC，電流：<10μA
操作溫度范圍： ＋10°C to＋60°C
材料： 316不繡剛，氟橡膠，特富龍，
陶瓷片
進(jìn)氣和出氣連接： 1/4"Swagelok Fittings
電氣連接： 標(biāo)準(zhǔn)BNC
重量： 800克
