產品概述：

錦正茂高低溫真空探針臺可進行真空環境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設計，樣品臺采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩定性和重復性的PT100或者標定過的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調移動，器件的高頻特性(支持頻率上達67GHz)，探針熱沉設計，LD/LED/PD的光強/波長測試，自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。

應用范圍：

錦正茂高低溫真空探針臺應用于高低溫真空環境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。

探針臺選型注意事項

※*大需要測幾inch的晶圓或者器件？是否需要測試破片或者單顆芯片，*小的單顆芯片尺寸？

※探針臺機械精度要求多高？

※點測樣品的電極尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內部的metal線路？

※*多需要幾個探針同時去點測？

※是否會用到探針卡測試？

※光學顯微鏡的*小分辨率需要用到多少？

※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測？

※探針點測時，對電流的要**否達到100fa或者以下？低電容要**否要做到0.1pf？是否有射頻需求？

※接駁的測試儀器接口有哪些？

※測試環境時是否會需要加熱或者降溫？ 是否需要密閉腔體？

※對chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？

※是否需要防震桌？

※若添置防震桌，是否有壓縮空氣？