熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡具體指標(biāo)：
1電子光學(xué)
1.1電子槍類型：高分辨肖特基場發(fā)射電子槍
1.2加速電壓：200V-30kV
1.3電子著陸能量：20eV-30keV
1.4束流大小：1pA-400nA連續(xù)可調(diào)，保證能譜高效工作（后期做EDS Mapping和EBSD）
1.5透鏡（物鏡）幾何結(jié)構(gòu)：60°物鏡幾何結(jié)構(gòu)：支持傾斜較大的樣品（不規(guī)則樣品）
*1.6兼容磁性樣品
1.7光闌：自加熱物鏡光闌
1.8自動烘烤、自動啟動、無需機(jī)械合軸
1.9 減速樣品臺
2分辨率
2.1高真空分辨率（STEM掃透模式）：0.8nm@30kV
2.2高真空分辨率（SE二次電子）：1.0nm@15kV
*2.3高真空分辨率（SE二次電子）：1.0nm@1kV(樣品臺減速)
2.4分析工作距離分辨率：1.5nm@1kV
3探測系統(tǒng)
*3.1 鏡筒內(nèi)BSE探頭
3.2 鏡筒內(nèi)SE探頭
3.3 常規(guī)SE探頭 （ETD）
3.4 紅外CCD（觀察樣品臺高度）
3.5 Nav-Cam智能導(dǎo)航相機(jī)
4真空系統(tǒng)
4.1泵的組成：1個PVP渦旋泵+1個分子泵+2個離子泵
*4.2抽真空時間：≤ 3.5 分鐘
5樣品倉
5.1樣品倉內(nèi)徑：340mm
5.2接口：總共12個，可接能譜3個（1個35°,2個平行180°）
6樣品臺
6.1 五軸全對中馬達(dá)樣品臺，行程：X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm
*6.2 傾斜Tilt(°)：-15 ~ +90，旋轉(zhuǎn)Rotation(°)：360°連續(xù)
6.3 樣品尺寸：可沿 X、 Y 軸旋轉(zhuǎn)時直徑為 122 mm，樣品高度 距共心點(diǎn) 85mm
6.4 分析工作距離：不小于10mm
6.5 多功能樣品臺：多用途標(biāo)準(zhǔn)支架，以方式直接安裝到載物臺，最多可支持 18 個標(biāo)準(zhǔn)樣品臺 (Ø12 mm)、3 個預(yù)先傾斜的樣品臺、切片樣品和不需要工具來安裝樣品
7軟件
7.1圖像輸出分辨率：6144x4096像素，8/16/24位深度BMP、JPG
7.2光柵掃描：駐留時間25ns到25ms/像素
7.3智能掃描和漂移補(bǔ)償：SmartSCAN（256 幀平均或積分、線積分和平均法、隔行掃描），DCFI（漂移補(bǔ)償幀積分），主要用于控制消除荷電
7.4控制：手動/自動控制亮度/對比度
7.5掃描方式：正常掃描、縮小光柵、定點(diǎn)、線掃描、掃描旋轉(zhuǎn)、傾斜校正
7.6顯示方式和探測器通道數(shù)量：單幅或4幅圖像實(shí)時顯示，標(biāo)準(zhǔn)4通道，任意兩個探測器的輸入可混合
能譜儀具體指標(biāo)：
8.1 SDD電制冷高效高分辨能譜儀探測器，無需液氮冷卻
8.2 元素分析范圍: Be ~Am
8.3. 探測器晶體面積: 40mm2
8.4 分辨率: 優(yōu)于129 eV， Mn Ka
8.5 32位8192通道MCA，可采集任意數(shù)量幅的X-射線元素面分布圖；具有定量元素面分布和定量線掃描功能。
8.6 全譜圖像采集分析軟件：一次使用樣品，即可得到采集區(qū)域每個像素點(diǎn)形貌和成分?jǐn)?shù)據(jù)，無需二次利用樣品。在全譜圖像上可完成任意點(diǎn)、線、面、不規(guī)則圖形中的元素定性和定量分析。
8.7 高級化合物成分分析軟件：軟件自動提取每個像素點(diǎn)的特征譜，自動完成成分差異提取；自動得出不同區(qū)域的化學(xué)物組成分析，確保每個操作者得到分析結(jié)果都是一樣的。
8.8 軟件脫機(jī)安裝和升級： 滿足用戶將能譜儀分析軟件免費(fèi)安裝在另外的10臺計(jì)算機(jī)上脫機(jī)離線分析使用，以便提供電鏡和能譜儀的使用效率。當(dāng)廠商軟件升級時，應(yīng)免費(fèi)提供。
