5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)： |
5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂GTVCR5000系列 |
實(shí)現(xiàn)了下降價(jià)格，但是也可以維持以前的GTVHR5000系統(tǒng)的機(jī)能，功能 |
能夠在真空環(huán)境下對應(yīng)并排擺放的腔室工作臺布局，能夠靈活地適應(yīng)不同類型設(shè)備的多種布局 |
通過優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸，有利于減小真空腔室的內(nèi)部容積 |
非常適合inline設(shè)備 |
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長：280mm, 330mm |
手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置 |
真空密封：磁流體密封裝置以及波紋管 |
提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5µm級過濾器 |
雙手指機(jī)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動作時(shí)間 |
配備動作監(jiān)視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī) |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 |
手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) |
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式，利用O型膠圈的摩擦力來保持位置 |
可以針對搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供的手指 |
5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)： |
使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣：溫度 15°C-40°C |
工藝室溫度 | 450°C |
手臂 | 單臂 |
到達(dá)距離 | 635mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn)) |
升降軸行程 | 60mm |
可搬運(yùn)質(zhì)量 | 4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) |
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