加熱區參數

 爐管尺寸：外徑Φ25/50*600mm (管徑可選)

 加熱元件；電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）
 加熱區長度：230mm

 恒溫區長度；80mm

 工作溫度：1100℃
 溫度：1200℃
 控溫方式：模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能
 控溫精度；±1℃

 推薦升溫速度：20℃/min

 升溫速度：≤100℃/min

 爐門結構：開啟式
 工作電源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

 額定功率：2KW

 外型尺寸：350×290×345 mm

 標準配件：石英管1根，不銹鋼密封法蘭1套，硅膠密封圈2套，氧化鋁管堵4只，高溫手套1副，坩堝鉤1支，小保險1個。

 密封系統：爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭），端口可按實際使用擴展。

氣路系統參數

 質量流量計參考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可選）

 準確度：±1.5%

 線性：±0.5～1.5%

 重復精度：±0.2%

 響應時間：≤10sec

 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

 壓力：3MPa

 接口：Φ6,1/4''

 顯示：4位數字顯示

 工作環境溫度：5~45高純氣體

 內外雙拋不銹鋼管：Φ6

 壓力真空表；－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止閥：Φ6

 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

 備注：可選配一路、兩路、三路、四路等以上質量流量計。

低真空系統參數

 抽速：10m³/h

 極限真空度：5*10^-1pa

 電源：220v 50hz

 電機功率：0.4kw  

 進排氣連接口：KF25

 用油量：1.1L

 電機轉速：1440rpm

 工作環境溫度：5-40℃

 噪音：≤56db

 電阻真空計參數：

 1.配用規管： 電阻規，

 2.測量范圍： 10 ⁵ ～10 ^-1 Pa，

 3.測量路數： 1路

 4.控制范圍： 5×10³ ～5×10 ^-1 Pa，

 5.控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載，

 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

 7.功耗： 20W