● DC 直流 /（IV、CV）測試
● 低電流（100fA 級(jí)）測試
● 器件表征測試、WLR 可靠性
● 大功率 / 大電流 / 大電壓測試等
● RF 射頻測試
● 1/f 噪聲測試
● FA 失效分析測試
探針臺(tái)主體
● XY行程范圍：6 英寸 - 12 英寸
● XY行程分辨率：< 1.0 µm
樣品臺(tái)
● 樣品臺(tái)：4 英寸 - 12 英寸
● 高溫：20 - 300°C
● 大電壓大電流：3000V / 1500A
定位器
● X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm × 12mm × 12mm
● 移動(dòng)精度：10um / 2um / 0.7um / 0.5um
線纜
● 同軸線 / 三同軸線
● 漏電精度：10pA / 100fA / 10fA
探針
● 針尖直徑：0.2um / 1um / 2um / 5um / 10um / 20um
● 針尖材質(zhì)：鎢鋼 / 鈹銅
屏蔽系統(tǒng)
● EMI / RFI / 不透光屏蔽，超低噪聲，低泄漏測量功能
防震系統(tǒng)
● 阻尼隔振系統(tǒng) / 精密氣浮隔震臺(tái)
● 平面度：< 0.05mm/m2
● 表面粗糙度：< 0.8μm
