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DTN系列 高溫氮氣烘箱

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  • 所在地上海
  • 更新時間2024-08-07
  • 廠商性質其他
  • 所在地區上海
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上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領域的設備銷售、系統集成、設備國產化的公司。主要為高校、研究所、中試量產線及晶圓FAB廠提供半導體工藝設備、檢測設備、封裝設備、測試設備。目前公司已成為國內少數幾家專業提供半導體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業。公司主要成員為復旦大學、上海微系統所等半導體相關專業博士,擁有一支經驗豐富、技術過硬的團隊。能夠出色地完成售前售中、售后的服務。目前公司已與眾多國際半導體設備企業建立了良好的合作關系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據用戶的科研方向和量產的器件類別提供相應的全套設備選型和工藝整體解決方案。
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潔凈度100級、氧濃度低于 20ppm 的氣氛爐,主要應用于固化半導體晶圓等。
DTN系列 高溫氮氣烘箱 產品詳情

采用耐熱高性能高效過濾器,箱內潔凈度始終保持在100級,可在潔凈的環境下進行高溫烘烤

高氣密性的壓力箱構造,氧濃度到達時間短,N2 消耗量極低

通過磁密封保持高氣密性,并采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響

可實現快速升溫和降溫,升降溫速率可調節

標準裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收

液晶觸摸屏操作,自動/手動兩種運行模式

擁有門檢測開關、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電漏電保護開關等安裝裝置

工作溫度 360℃ 和 500℃、潔凈度100級、氧濃度低于 20ppm,主要應用于固化半導體晶圓(光刻膠 PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等


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