質量流量檢測

與空氣、燃氣的使用溫度、壓力無關，可測量換算成標準狀態下的流量。

（* 標準狀態下的流量是指在1個大氣壓、0°C（或20°C）時的體積流量。）

寬廣的檢測范圍

相對于較大測量流量的低流量區域，一般的氣體流量計都難于檢測，通過搭載μF傳感器，可實現寬廣范圍的測量、控制。實現了質量流量計CMS的可調比100：1、大流量質量流量計CML的可調比160：1（測量范圍為1,280：1）的高可調比！

適合于空氣及燃氣的使用量的管理、及節能的漏氣管理。

快速響應

細微、熱容量非常小的MEMS傳感器直接與氣體接觸進行檢測，實現了快速響應。

低圧損構造

F傳感器設置在流路的壁面上，具有低壓力損失的特點。適合于低圧氣體流量的檢測、控制。

高精度

μF傳感器隨時間的特性變化非常小，能長期保持高精度。

各種功能

通過控制機器積累的微電腦的技術，搭載了以前的質量流量計沒有的各種功能。

瞬時／累積流量顯示、燃氣種類切換功能、上下限報警輸出、模擬輸出、累積脈沖輸出、通信功能等　（* 因產品而異）

種類豐富的產品

根據使用用途，備有從5mL/min型號到500L/min型號的寬廣流量區域的產品。

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