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  • 等離子清洗機G系列

等離子清洗機G系列

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地青島市
  • 更新時間2025-02-04
  • 廠商性質其他
  • 所在地區(qū)青島市
  • 實名認證已認證
  • 產品數(shù)量105
  • 人氣值1101
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山東普爾晟儀器有限公司是一家設在美麗的海濱城市青島的科技公司,是一家集研發(fā)、銷售及服務為一體的企業(yè)。公司成立以來得到國家重點院校及國內外儀器領域專家技術支持。產品以實驗室儀器及實驗室常用輔助儀器為主,服務科研、教育、環(huán)境保護、衛(wèi)生防疫、食品藥品、材料、制藥等領域。同時,普爾晟儀器還與國內外色譜、光譜、質譜、前處理等廠商展開合作,可以更高效的為實驗室客戶提供一體化解決方案,讓實驗室籌備和擴項工作更為輕松、高效。普爾晟儀器一直以“科技便利生活 創(chuàng)新開啟未來”的理念,致力于解決客戶實驗室想更便捷更高效的工作效率問題。目前公司方向是,為實驗室客戶提供一體化解決方案,讓實驗室籌備和擴項工作更為輕松、高效。主要業(yè)務是三個方面:實驗室前期規(guī)劃布局(包括實驗室規(guī)劃設計、實驗室氣路管路實驗臺等布局)實驗室儀器設備及耗材(包括實驗室前處理儀器、分析儀器、實驗室常規(guī)耗材等)實驗室售后服務(包括實驗室設備安裝維修維護、實驗室方法及人員培訓等)一直秉承誠信經營的原則,致力于打造質量過硬的產品、體貼入微的服務體系,秉持與客戶共贏、為客戶創(chuàng)造價值的理念,在與客戶共同發(fā)展的道路上堅持不懈。
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等離子清洗設備廣泛應用于材料學、微電子、半導體、線路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫(yī)學等領域,主要用于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的
等離子清洗機G系列 產品詳情

等離子清洗設備廣泛應用于材料學、微電子、半導體、線路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫(yī)學等領域,主要用于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的。  




產品特點:

u 7寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20個配方程序,工藝數(shù)據可存儲追溯。

u PLC工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

u 石英真空真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

u 采用質量流量計,實現(xiàn)對氣體輸入精準控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準確問題。

u HEPA高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

u 60度傾角操作界面設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。

u 頂置真空艙,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式,開關蓋方便。

u 采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

u 上置式360度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

u 有效清洗面積大,可清洗直徑8吋硅片。

u 安全保護,艙門打開,自動關閉電源。

G系列產品專為處理更大樣品尺寸而設計,滿足大部分實驗室和中試生產模擬生產條件要求

  技術參數(shù):

型號

10系列

10plus

C10M

Mplus

G系列

Gplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射頻功率

10-600W

10-300W

10-600W

10-300W

10-600W

10-150W

匹配器

自動匹配

自動匹配

自動匹配

激發(fā)方式

電容式

電容式

電容式

氣體控制

雙浮子流量計

單路MFC(可選兩路)

單路MFC(可選兩路)

艙體尺寸

L300Xφ215mm

L300Xφ215mm

H100xΦ269mm

艙體容積

10.8L

10.8L

5.6L

艙體材質

不銹鋼

不銹鋼

石英玻璃

有效處理尺寸

L300xW215mm

L300xW215mm

Φ269mm 圓盤

時間設定

9999秒

9999秒

9999秒

真空泵

抽速8m3/h

抽速8m3/h

抽速4m3/h

氣體穩(wěn)定時間

1分鐘

1分鐘

1分鐘

真空度

100pa以內

100pa以內

100pa以內

 

AC220V 50/60Hz  766/466W

AC220V 50/60Hz  752/452W

AC220V 50/60Hz  752/302W

產品尺寸

L645xW550xH495mm

L645xW550xH495mm

L425xW480xH445mm

包裝尺寸

L750xW700xH720mm

L750xW700xH720mm

L550xW630xH700mm

整機重量

55kg

55kg

30kg


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