系統描述:對振動不敏感的泰曼格林型動態干涉儀
采集模式:動態或機械相移
準直模式:可見對準激光
工作波段:3.39µm或10.6µm
相干長度:>60m
光束直徑:14mm 準直;兩個輸出端
偏振態:線偏光
輸出:測量光:<4 mW @ 3.39 µm ,<500 mW @10.6 µm; 對準光: <5 mW @532 nm
相機像素:640 x 512 pixels; 512 x 512 陣列視場
外形尺寸: 85 cm x 41 cm x 20 cm
采集速率:>25幀/秒 (后處理)
最小曝光時間:500微秒
樣品反射率:10-99%
RMS重復性:<0.001wave*
RMS精度:<0.002wave**
*采用10個數據RMS值的1σ方差作為結果;每個數據是16次測試的平均
**采用10個數據,每個數據是16次測試的平均;以這10個數據的平均值作為參考值;以每一個數據與參考值的差來計算RMS平均作為結果
擴束器:1英寸,2英寸,4英寸,6英寸
球面擴束鏡頭:F/1 to F/6;接受定制