● 模塊化設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)反射觀察、透反射觀察配置
● 復(fù)消色差光路，整體光路支持25mm視野直徑
● 可選配UV光源，提高觀察分辨率至亞微米結(jié)構(gòu)，UV由大功率LED產(chǎn)生，具有UV和OUV功能
● 12x12大樣品臺(tái)，可觀察晶圓，LCD等大尺寸樣品
● 6孔位電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤，配接32mm直徑長工作距離工業(yè)物鏡
● 內(nèi)置電動(dòng)或手動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng)
● 0.7X宏觀物鏡，具有宏觀晶圓檢查功能
● 可實(shí)現(xiàn)明場、暗場、偏光、干涉和斜照明方式
● 機(jī)身內(nèi)置LED透、反射照明電源，智能光強(qiáng)變化控制照明方式
● 能自動(dòng)記憶在不同物鏡下和不同觀察方式下的光強(qiáng)、光闌大小及聚光鏡的組合，自動(dòng)恢復(fù)到位，操作簡單快速
● 基座配觸摸按鈕，控制顯微鏡的操作
● 光強(qiáng)、光闌、觀察方式和聚光鏡調(diào)節(jié)可由按鍵和計(jì)算機(jī)控制操作，并自動(dòng)在不同倍數(shù)物鏡下拍的照片中加相應(yīng)倍數(shù)標(biāo)尺
● 具有色溫恒定系統(tǒng)，提供工作效率
● 可配接攝像頭，數(shù)碼相機(jī)進(jìn)行圖像采集、分析、測量
● 可配接熒光觀察、高溫?zé)崤_(tái)、陰極發(fā)光儀、光度計(jì)
● 可配接自動(dòng)掃描臺(tái)進(jìn)行多視場非金屬夾雜物分析和顆粒粒度、清潔度分析
徠卡DM12000 M技術(shù)參數(shù)
基本參數(shù) 顯微鏡類型 研究級(jí)顯微鏡(正置) 轉(zhuǎn)換器 WI-SRE2：擺出式物鏡轉(zhuǎn)換器 載物臺(tái) IX-SVL2：機(jī)械式載物臺(tái) 光學(xué)系統(tǒng) UIS2光學(xué)系統(tǒng) 光學(xué)參數(shù) 觀察頭 U-TR30-2：寬視野傾斜三目鏡筒,傾角為30度,三級(jí)分光(99%觀察,觀察照相比20%：80%,99%照相),瞳間距調(diào)節(jié)50-76mm,帶屈光度調(diào)節(jié)；U-ETR3：三目正像鏡筒,傾角為30度,二級(jí)分光(99%觀察,99%照相),瞳間距調(diào)節(jié)50-76mm,帶屈光度調(diào)節(jié)；WI-DPMC：雙分光三目鏡筒,帶中間變倍,傾角為24度,三種分光方式(99%觀察,99%前光口,同時(shí)使用兩個(gè)光口),瞳間距調(diào)節(jié)50-76mm,帶屈光度調(diào)節(jié) 調(diào)焦 電動(dòng)調(diào)焦 照明系統(tǒng) 顯微鏡鏡體：透射光內(nèi)置柯勒照明(F.N.22),12V 100W長壽命鹵素?zé)?預(yù)定心)(平均壽命大約2,000小時(shí)),光強(qiáng)調(diào)節(jié)：DC2.5Vg12.6V(連續(xù)可調(diào)), 電流8.4A；光源BX-UCB：功耗：200W,尺寸：125×216×310mm,重量：5kg 其他參數(shù) 材質(zhì)：高剛性鋁合金熒光裝置：BX-RFA：多功能用,可配勵(lì)起光平衡器和矩形視場光闌；BX-URA2：通用型熒光照明裝置
WI-SLRE：滑座式物鏡轉(zhuǎn)換器
WI-SNPXLU：單孔物鏡轉(zhuǎn)換器
WI-SSNP：擺出－滑動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)換器
WI-XYS：固定式防震載物臺(tái)(顯微鏡移動(dòng)式)
U-SVL(R)B-4：左(右)手同軸低位驅(qū)動(dòng)、高抗磨損性陶瓷覆蓋層載物臺(tái), 和WI-STAD聯(lián)用,移動(dòng)范圍：52×76mm
