MC100標準型氣體層流質量流量控制器主要用于對氣體的質量流量進行精確測量和控制,采用內部補償型層流壓差技術,使得流體在寬流量范圍內仍舊保持層流運動,內置壓力傳感器和溫度傳感器,能充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異,可根據用戶需求快速精確控制目標氣體的流量,適用于多種流量測控場合。
?特征:
l 原理:層流壓差式原理
l 便捷操作:可觸屏點擊操作、讀取流量,或者提供上位機軟件操作。
l 核心優勢:高精度、高重復性、快速響應
l 寬溫度、寬壓力適用范圍:-20℃~60℃、1Mpa以內
l 實時測量、顯示溫度、壓力、流量等多過程參數
l 內置49種氣體,,一鍵自由切換氣體,無需查找、輸入系數,
l 可測控混合氣體,用戶自主編輯設定混合氣體,操作簡單
l 無需預熱時間,開機即可使用,即插即用。
產品規格:
l 產品型號:MFM:S系列,M系列,P系列; MFC:SC系列,MC系列
l 量程范圍:0.5sccm~5000slpm
性能參數:
l 精度:±1.0%RD,±1.0%S.P.
l 重復精度:±0.2%F.S.
l 壓力漂移:Zero:≤±0.2%F.S./100Kpa; Span:≤±0.2%F.S./100Kpa(基準100KPa(絕壓))
l 溫度漂移:Zero:≤±0.02%F.S./℃; Span:≤±0.02%F.S./℃(基準溫度20℃)
l 工作范圍:1%~120%F.S.
l 響應時間:MFM≤100ms. ; MFC≤100ms
l 啟動預熱時間:1s
使用條件:
l 介質溫度:-20℃~60℃
l 環境溫度:-20℃~50℃
l 使用濕度:0%~98%(無冷凝)
l 工作壓力:0~1Mpa
l 耐壓:1.5Mpa
l 供電電壓:24V±20%
l 消耗電流:<150mA (<5V)
l 安裝方式:任意角度
l 接氣部材質:SUS304,SUS316L,航空鋁材
l 進出口:管螺紋(內螺紋)
l 接氣部密封材質:橡膠圈密封:氟橡膠
通訊方式:
l 數字信號:RS485,Profibus
l 模擬信號:4-20mA,0-5V
應用場景:
l 配套流量校準平臺的流量測量設備
l 實驗中的氣體流量測量
l 機械動力測試系統中的氣體流量測量
l 材料制備實驗中的中的氣體流量測量
l 真空實驗艙及真空試驗系統中的氣體流量測量
l 生物反應器實驗裝置中的氣體流量測量
l 高精度實驗儀器的研發和試制
l 分析測試儀器