小型真空高低溫探針臺技術參數用于測試半導體晶圓、芯片在高低溫下的電學性能，如載流子遷移率、電阻率、擊穿電壓等，有助于研究半導體材料的特性和器件的性能優化。

小型真空高低溫探針臺技術參數

腔體

樣品臺尺寸：1.5英寸

樣品固定方式：彈簧壓片

觀察窗口：2英寸

真空度：10-3torr（機械泵）/10-6torr（分子泵）

探針臂接口：最多6個探針臂接口

其它接口：多6個探針臂接口

制冷方式：電信號接口、真空接口、控溫接口液氨

控溫方式：溫控器

溫度范圍：77K-473K/573K/873K/

溫度分辦率：0.1K/0.01K/0.001K

穩定性：士1K/士0.1K/士0.01K

顯微鏡

移動形式：全范圍移動

光源：同柚光源

CCD：1200萬像素

顯微鏡倍率：0.6X-5X

光學放大倍率：18-200倍

調焦行程：42mm

探針臂

X Y- 行程：Y50mm+XYZ12mm*12mm*12mm

組成結構：外置採針臂，真空波線管績構

移動精度：2um/0.5um

探針夾具

線纜：同軸線/三軸線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

探針固定：螺絲固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

探針

頻率支持：DC-100Mhz

針尖大小：0.2um/1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um

材質：鎢鋼/鈹銅