大幅度提高了驅動速度(X 軸：80mm/s, Z2
軸：20mm/s)，近一步降低了總測量時間。
• 為了在一定時段內維持儀器的直線度規
格，三豐公司采用了具有的耐摩擦
性及穩定性的高硬度陶瓷導軌。
• 大量的外周設備選件支持CNC 模式，從
而可以很容易實現CNC 測量。
• 驅動裝置(X 軸) 和立柱(Z2 軸) 中集成了高
精度線性編碼器(Z2 軸為ABS 型)，從而提
高了在垂直方向持續自動測量小孔和不
易定位工件的重復精度。
• X 軸精度：±(0.8+0.01L)μm,
Z1 軸精度：±(0.8+|0.5H|/25)μm*，針對高精
度工件的測量所設計。
* CV-4100S4, H4, W4 型
L 為驅動長度，H 為測量高度(mm)
• CV-4100 系列的驅動裝置集成了激光全息
測微計檢測器，在Z 軸(垂直方向) 的窄／
寬測量范圍內，提供的精度和分辨
率。
軸：20mm/s)，近一步降低了總測量時間。
• 為了在一定時段內維持儀器的直線度規
格，三豐公司采用了具有的耐摩擦
性及穩定性的高硬度陶瓷導軌。
• 大量的外周設備選件支持CNC 模式，從
而可以很容易實現CNC 測量。
• 驅動裝置(X 軸) 和立柱(Z2 軸) 中集成了高
精度線性編碼器(Z2 軸為ABS 型)，從而提
高了在垂直方向持續自動測量小孔和不
易定位工件的重復精度。
• X 軸精度：±(0.8+0.01L)μm,
Z1 軸精度：±(0.8+|0.5H|/25)μm*，針對高精
度工件的測量所設計。
* CV-4100S4, H4, W4 型
L 為驅動長度，H 為測量高度(mm)
• CV-4100 系列的驅動裝置集成了激光全息
測微計檢測器，在Z 軸(垂直方向) 的窄／
寬測量范圍內，提供的精度和分辨
率。
