(1×10-4～1×102)Pa真空副基準裝置復現的是真空度，其單位為Pa，屬于具有專有名稱的導出單位。真空計量是實施真空量值準確、可靠傳遞及真空環境下的測試。
該副基準裝置采用一種基于非蒸散型吸氣劑的選擇性抽氣方法，消除了真空容器內表面放氣效應的影響，在國際上首次解決了靜態膨脹法校準下限延伸的難題，抽氣系統采用雙分子泵串聯抽空，前級為機械泵，外加非蒸散型吸氣劑泵，極限真空達到10-9 Pa。
該副基準裝置為自主設計研制，擁有多項自主知識產權。主要應用領域為航空航天，在保障深空探測、載人航天、引力波探測等國家重大工程順利實施方面具有顯著的不可替代性，可作為國家真空基準裝置的有效補充和備份，提升服務國家重大工程、重大戰略的計量保障能力。
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