【儀表網 儀表研發】2019年7月31日，上海市科委科學儀器方法研究科研項目《掃描電子顯微鏡及能譜儀無損檢測微納米尺度金屬鍍層厚度共享配套操作方法與應用研究》(項目編號16142202500)驗收會議在上海市計量測試技術研究院召開。
與會專家聽取了項目組的匯報，審閱了項目組提供的驗收資料，經質詢和討論，專家組認為該項目組完成了項目任務書規定的研究內容，達到了考核指標，一致同意項目通過驗收。
該項目以微納米尺度金(Au)鍍層和銠(Rh)鍍層材料為對象，利用掃描電鏡及能譜儀和蒙特卡洛模擬，建立了能譜法測試結果與元素特征X射線深度分布曲線之間的關系。鍍層厚度能譜法檢測結果與掃描電鏡法測量結果的誤差不大于±10%，并提供了常見貴金屬鍍層厚度分析范圍。
本項目制定的掃描電子顯微鏡及能譜儀無損檢測微納米尺度金屬鍍層厚度共享配套操作方法避免了傳統微納米金屬尺度鍍層厚度測試的弊端，可以快速、準確、無損地進行貴金屬鍍層厚度分析，為我國集成電路、貴金屬飾品等產業的發展提供技術依據。
經中國科學院上?？萍疾樾伦稍冎行臋z索，該項目具有新穎性，綜合技術達到先進水平。
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