SF6氣體回收及凈化處理循環再利用，就是將運行到期的或需要檢修的電氣設備中SF6氣體抽出，經過SF6氣體回收凈化裝置處理，得到符合相關標準的SF6氣體，再將達標的SF6氣體重新充入設備中使用。到目前為止，我國的SF6電氣設備使用期限已有1 0年、2 0多年，大多數逐漸進入檢修期，有大量的SF6氣體需要回收處理，因此，進行SF6氣體的回收處理、循環再利用，具有重大的節能環保意義。近幾年，多家單位開展了對SF6氣體的回收處理工作，取得了一些經驗：
    (1)應用的研究，包括研發SF6分解產物吸附處理材料，使回收的SF6氣體中的雜質凈化后的質量達到國家標準要求，設計一體式處理器，適合現場凈化處理使用，并制定了在不同電氣設備檢修時SF6的凈化處理和重復使用的程序。  
    (2)某機電工程學院開展了TG F-1型氣體斷路器SF6氣體填充回收裝置的研制，提出了一套SF6、回收和處理裝置的研制方案，并設計了由可編程控制器_(PLC)來統一控制的SF6氣體回收裝置。
    (3)該裝置的回收凈化過程包括抽真空、回收過濾處理、固化去除N2+02氣體、SF6氣體處理合格后灌瓶等。
    (4)某公司的公開了一種SF6氣體充氣及回收裝置，所述充氣回收回路的壓縮機與儲液罐之間設有一低溫冷卻裝置，能加速回收氣體的液化，提高回收的效率。
    (5)某公司的公開了一種從配電裝置中回收SF6氣體的方法與裝置，該裝置包括通過管道順序連通的一個清洗過濾器、一個壓縮機和一個蓄水池。
    (6)某電力設備廠開發出LH系列SF6氣體回收裝置及LCZ系列抽真空裝置。
    (7)某省電力公司對SF6氣體回收處理工作和回收處理設備進行了探索和研發，研制了SF6氣體回收及凈化處理設備。
    (8)某省電力公司開展了SF6氣體回收凈化處理的研究工作，在省內取得了一定成效。
    隨著國家環保政策的推廣及低碳經濟的發展，建設資源節約型、環境友好型電網，努力實現電網發展與環境保護的統一，環境保護、經濟效益和安全可靠供電的協調統一，積極開展SF6回收凈化處理，可推進循環再利用，保證電力工業持續健康發展。