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TXY970質(zhì)量流量計

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更新時間：2021-12-14 14:42:05瀏覽次數(shù)：179次

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產(chǎn)品簡介

用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。

詳細介紹

一、產(chǎn)品概述：

TXY970質(zhì)量流量計用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。TXY970采用熱式測量原理，直接用兩支快速反應的鎧裝傳感器測量氣體流量。由于沒有層流元件，并采用哈氏合金傳感器，用于易結(jié)晶和腐蝕性的氣體測量。對低壓管道或者壓力損失小的應用，TXY970也同樣適用。

二、使用范圍：

它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

三、產(chǎn)品特點：

●直接熱式原理，無層流元件
●無壓損,抗結(jié)晶,抗腐蝕
●適用于各種低壓和高壓管道
●精確測量和控制氣體的質(zhì)量流量
●預熱時間短,零漂小，可靠性高
●多種氣體可選,也可自行輸入