六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，被廣泛應用于電器工業，如：斷路器、高壓開關、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。但是當含有SF4等雜質時便變成有毒物質。當吸入高濃度SF6時可出現呼吸困難、喘息、皮膚和粘膜變藍、全身痙攣等窒息癥狀。所以SF6氣體使用中應注意泄露監測。
SF6泄漏監測分為定性和定量檢查，定性檢查是直接對設備各接頭密封點鋁鑄件進行檢測，可以查出設備各泄漏點位置。定量檢查是通過包扎檢測、掛瓶法或壓力折算求出泄漏量，從而得出年泄漏率。
定性檢漏有抽真空檢漏和檢漏儀檢測兩種方法:
① 抽真空檢漏法是將設備抽真空至40Pa，停泵0.5h，在真空表上讀出A數，再停5h，讀出B數，若B - A≤133Pa，則認為密封良好；
② 檢漏儀檢漏是將檢漏儀探頭沿設備各連接口表面和鋁鑄件表面移動，根據檢漏儀讀數判斷氣體的泄漏情況。檢漏儀檢漏時應注意:探頭移動速度應慢，以防探頭移動過快而錯過泄漏點;檢漏時不應在風速大的情況下，避免泄漏氣體被風吹走而影響檢漏;檢漏儀選擇靈敏度高、響應速度小的檢漏儀，一般使用檢漏儀的低檢出量＜lppm，響應速度＜5s較為合適。定量檢漏通常采用扣罩法、掛瓶法、局部包扎法、壓降法等方法。扣罩法適用于高壓斷路器、小型設備適合做罩的場合，掛瓶法適用于法蘭面有雙道密封槽的場合，局部包扎法一般用于組裝單元和大型產品，壓降法適用于設備隔室漏氣量較大時或運行期間測定漏氣率。通常，SF6設備在交接驗收試驗中，檢漏工作都使用局部包扎法和扣罩法查漏。
合格的SF6氣體是無毒的，但有使人窒息的危險， SF6氣體應存放在通風良好的地方，且要防曬、防潮。工作人員在進入低位區域前，應檢測該區域內的氧含量，如發現氧含量低于18%，則不能進人該區。氣體采樣操作及處理一般滲漏時，要在通風條件下戴防毒面具工作。
