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針對晶圓尺寸檢測，我們采用影像測量儀數(shù)字相機(jī)與光譜共焦位移傳感器一體的方案，由數(shù)字相機(jī)負(fù)責(zé)檢測外徑等平面尺寸，光譜共焦位移傳感器負(fù)責(zé)檢測晶圓平面度、厚度等尺寸。
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