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武漢奧品立儀器設(shè)備有限公司
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晶圓厚度外形尺寸測量
  • 發(fā)布時間2023-07-22
  • 播放次數(shù)455次
視頻簡介

針對晶圓尺寸檢測,我們采用影像測量儀數(shù)字相機(jī)與光譜共焦位移傳感器一體的方案,由數(shù)字相機(jī)負(fù)責(zé)檢測外徑等平面尺寸,光譜共焦位移傳感器負(fù)責(zé)檢測晶圓平面度、厚度等尺寸。


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