北京中科科美科技股份有限公司
此設備主要用于為諧振腔提供真空排氣、充氣和老化的環境,能夠對工件進行抽真空和充氣,同時又能為器件進行烘烤、除氣。結構緊湊,可同時對20個工件進行排氣老化。電控與工作臺集成設計可大大節省空間。臺面上設置可旋轉觸屏控制板極大的方便用戶對設備運行狀態的監控。
設備特點
此設備主要用于為諧振腔提供真空排氣、充氣和老化的環境,能夠對工件進行抽真空和充氣,同時又能為器件進行烘烤、除氣。結構緊湊,可同時對20個工件進行排氣老化。電控與工作臺集成設計可大大節省空間。臺面上設置可旋轉觸屏控制板極大的方便用戶對設備運行狀態的監控。
性能參數
1 極限壓力:常溫≤2×10-7Pa
2 系統漏率:≤6×10-11Pa.m3/s
3 工件連接閥、充氣微調閥和氣瓶高閥漏率:≤2×10-11Pa.m3/s
4 管道和閥門耐烘烤溫度:300℃,管路烘烤溫度可控。
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