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二硫化鉬CVD氣相沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號H-CVD-1200S

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更新時間：2023-07-28 09:20:14瀏覽次數(shù)：108次

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上海翰軍實驗設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

一、概述硫粉預(yù)熱器采用管內(nèi)測控溫以保證在250℃以下，穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時機和蒸發(fā)溫度

詳細介紹

一、概述

硫粉預(yù)熱器采用管內(nèi)測控溫以保證在250℃以下，穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時機和蒸發(fā)溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復(fù)合真空計（在1000Pa以上測量不受氣體種類影響，耐硫蒸氣腐蝕），通過調(diào)節(jié)真空蝶閥的開啟程度調(diào)節(jié)爐管內(nèi)壓力穩(wěn)定，在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。

二、設(shè)備組成

HCVD-1200S雙溫區(qū)管式爐，HTF400C硫粉預(yù)熱器(雙溫區(qū)管式爐與預(yù)熱器可滑動)，質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)，機械式真空泵等組成。

三、主要技術(shù)參數(shù)

硫粉預(yù)熱器

型號：HTF-400C

工作溫度：350℃

溫度：400℃

升溫速率：30℃/min

推薦升溫速率：10℃/min

控溫方式：智能化30段可編程控制

工作電壓：AC220 V

額定功率：800W