北京瑞普能貿(mào)易有限公司
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閱讀：19發(fā)布時間：2024-2-8
ZYGO 納米位置傳感器被廣泛應(yīng)用于閉環(huán)運(yùn)動控制系統(tǒng)，如光刻機(jī)和半導(dǎo)體檢測工具的工作臺，以及可變形光學(xué)系統(tǒng)。30 多年來，我們一直在位移和位置傳感器領(lǐng)域開拓創(chuàng)新，并與需要高精度和可靠性的客戶緊密合作。我們的應(yīng)用專家團(tuán)隊可以隨時幫助您解決您的位置計量挑戰(zhàn)。
位移測量干涉儀
ZYGO 的 ZMI™ 系統(tǒng)使用外差干涉儀技術(shù)，可精確地測量位置的相對變化。
位置傳感器
ZYGO 的 ZPS™ 系統(tǒng)使用超緊湊的非接觸式光學(xué)傳感器，可在高達(dá) 64 個同步通道上測量 1.2 mm 范圍內(nèi)的位置。
應(yīng)用
OEM 服務(wù)
30 多年來，ZYGO 的位置測量傳感器一直被用于 OEM 應(yīng)用。我們明白，您需要的是一個值得信賴的合作伙伴，為您提供操作可靠、質(zhì)量穩(wěn)定的創(chuàng)新位置計量解決方案，并要能按時交貨。
工作臺伺服控制
憑借 30 多年的經(jīng)驗，ZYGO 的納米位置傳感產(chǎn)品已成為值得信賴的產(chǎn)品之一，可連續(xù)運(yùn)行，。
自適應(yīng)光學(xué)器件控制
通過了解自適應(yīng)光學(xué)器件的實際變形情況，實現(xiàn)對其更精確的控制！ZPS™ 提供了多達(dá) 64 個平行排列的小尺寸傳感器，可直接測量反射鏡或其他光學(xué)器件的前后表面，使您能夠重建表面變形情況，獲得較佳的像差校正。
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