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哈爾濱芯明天科技有限公司

芯明天壓電物鏡定位器的應用領域

時間:2019-11-4 閱讀:1216
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芯明天壓電物鏡定位器以壓電陶瓷為驅動源,帶載物鏡做納米級步進運動,機構采用無回差柔性鉸鏈并聯導向機構設計,物鏡補償量小,具有良好聚焦穩定性。芯明天壓電物鏡定位器在結構上可分為三種類型結構:高動態型、大行程型及大負載型。

高動態壓電物鏡定位器

該系列壓電物鏡定位器采用的平行四邊形設計原理,高剛度,可帶200g負載高速運動。

大行程壓電物鏡定位器

該系列產品是大行程、高速、壓電陶瓷驅動的聚焦顯微掃描裝置,產品體積小巧,位移行程可達500μm。

大負載壓電物鏡定位器

大負載壓電物鏡定位器具有承載力大、響應速度快、Z軸運動直線性好等特點,可帶500g負載高速運動。

應用領域 

光學顯微成像:

顯微光學成像,是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光,通過一個或多個透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術。壓電物鏡定位器可帶動物鏡頭做Z向精密高速運動,可使觀測精度達納米級。

白光干涉:

白光干涉技術以可見光為光源,光源發出的白光通過干涉物鏡后在半透射光學平面反射一半光強,另一半光強透射后照射在量測物表面并反射再次進入干涉物鏡,與原光學平面的反射光產生干涉。搭配芯明天P73系列壓電物鏡定位器,準確性高可達納米解析度,垂直掃描高度可達500μm。

晶圓切割:

激光經過透鏡聚焦,再通過壓電物鏡定位器調整焦點的位置,使焦點準確的定位在晶圓待切割部位,被切割部位溫度升高,然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運動,在切割材料上形成切縫從而達到切割的目的。

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