過去幾年里，中國科學技術大學已經安裝了多套牛津儀器等離子體系統(tǒng)，包括PlasmaPro 100 ICP380，PlasmaPro NGP 80 RIE 及PlasmaPro 100 PECVD 沉積系統(tǒng)。

    中國科學技術大學的朱教授說：“的牛津儀器等離子體刻蝕系統(tǒng)將大大提高我們目前量子信息處理課題的研究進展。之所以選擇牛津儀器等離子體刻蝕系統(tǒng)，是因為我們發(fā)現不僅這套設備具有廣泛的處理能力及高靈活性，牛津儀器還提供一系列的服務與支持。這些設備使得我們的研究極限進入到微納米的尺度。”

    朱教授繼續(xù)說道：“中國科學技術大學在納米科學工程領域有很強的研究背景，我們新建的納米制造中心將致力于微納米尺度上相合作、交叉學科的基礎研究。”

   牛津儀器等離子體的銷售與市場總監(jiān)David Haynes 說：“我們非常高興又收到中國科學技術大學的一個訂單，同樣作為制造系統(tǒng)，我們的等離子體系統(tǒng)采用了很多全新、*的技術，并已用于的基礎研究與開發(fā)。中國科學技術大學購買牛津儀器的等離子體系統(tǒng)用于量子計算的前沿研究的消息，對我們來說是非常振奮的消息。”

     量子信息處理將是9月24-25日2014納米技術與應用研討會上的重要議題，此次研討會由牛津儀器主辦，報名者可免費參加此次會議。