CKD二位五通防爆型導電磁閥設計圖，4F210-08-DC24V 

凈化度 （注2）  軸組合形式 適應控制器 驅動電機 驅動方式 行程（mm） Z大可搬（kg）
速度（mm/s）
位置重復精度（mm）／分解能（mm）
所需真空壓（kPa）
排出空氣用吸氣口 （空氣管道用接頭）
對應100（塵規格0.3μm以上） 單軸或正交X-Y臺形　滑塊向上水平設置 CA10－M10, CA10－M00, CA10－S10
研磨滾珠絲桿　C7（φ15mm、導線20、10、5mm）    100 ～ 1050　　
小型AC伺服電機　100 小型AC伺服電機　100W,200W
滾珠絲桿導線20mm 滾珠絲桿導線10mm 滾珠絲桿導線  5mm
直軸 V型軸 直軸 V型軸 直軸 V型軸
凈化度測定環境 測定室凈化度 測定器
表面處理

CKD二位五通防爆型導電磁閥設計圖，4F210-08-DC24V 
使用潤滑脂
所需吸出空氣量（N   /min）
樣品流量 被測軸行程 動作模式
■凈化度測定點與發塵量
測定條件
■速度與發塵量
0 50 100 200 400 600 800 10000
軸速度：（50～1000mm／s） 被測定軸形式：KBA-10A - ST - M20N - 60 - C
軸速度（ mm／s ）
測定軸部分的3點
0.3μm以上 的發塵量（個）
軸   速   度 ： 400mm／s　　 加減速時間 ： 0.3sec 空氣吸引量 ： 60N?。?分（KBA-10） 
150N　／ 分（KBA-30） 其              他 ： 測定環境根據規格規

CKD二位五通防爆型導電磁閥設計圖，4F210-08-DC24V