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雙頻激光干涉儀測量角度和角速度

來源:上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司   2010年09月06日 17:26  

雙頻激光干涉儀測量角度和角速度
文件名稱: 雙頻激光干涉儀測量角度和角速度
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上傳時(shí)間: 2010-7-29 14:26:51
更新時(shí)間: 2010-7-29 14:26:51
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雙頻激光干涉儀測量角度和角速度
從幾何意義上來說,角度表征了從同一點(diǎn)出發(fā)的兩條直線的方向差別。角度的復(fù)現(xiàn)是建立在圓周角等于360°的基礎(chǔ)上的。激光測角的方法很多,按照測角范圍分類,可分為:小角度測量和全角測量;按照有無合作目標(biāo)分類,可分為有靶鏡測量和無靶鏡測量;按照坐標(biāo)特征可以分為:俯仰角、偏擺角、滾動(dòng)角的測量。德國耶拿爾JENAer雙頻激光干涉儀通過不同的光學(xué)鏡組件,可對(duì)機(jī)床的俯仰角、偏擺角和滾動(dòng)角進(jìn)行測量。以下為垂直度(直角)測量的原理:
許多機(jī)械系統(tǒng),如機(jī)床、測量機(jī)等都采用直角坐標(biāo)系統(tǒng)。在理想情況下XYZ三個(gè)坐標(biāo)軸相互垂直。如果他們不垂直就會(huì)影響空間坐標(biāo)的精度。因此,垂直度的測量已引起廣泛的重視。測量垂直度的方法基于直線度測量,以直角方塊為基準(zhǔn),測量兩個(gè)待測導(dǎo)軌的直線度,可以計(jì)算出兩個(gè)導(dǎo)軌的垂直度。這種測量方法的核心思想是以雙面反射鏡的角平分線為直線基準(zhǔn)(簡稱準(zhǔn)直基線)。測量垂直度時(shí),首先將準(zhǔn)直基線調(diào)整到和待測的一個(gè)方向平行,后來的任何調(diào)節(jié)都不得變動(dòng)雙面反射鏡。因此,準(zhǔn)直基線就平行于一個(gè)待測方向。這時(shí)用直角標(biāo)準(zhǔn)塊和反射棱鏡把光束轉(zhuǎn)90°,用空心四面體入射光和出射光。沃拉斯頓棱鏡放在出射側(cè),光束從雙面反射鏡返回、合光,進(jìn)入激光器計(jì)數(shù)。四面體和沃拉斯頓棱鏡在跟隨另外一個(gè)運(yùn)動(dòng)方向運(yùn)動(dòng)的過程中所顯示的直線度誤差就是垂直度誤差,誤差值除以移動(dòng)距離就是角度值。
 
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