壓阻式壓力傳感器的結構,其核心為一塊有四個擴散電阻的單晶硅膜片,用一個圓形環固定,將兩個氣室隔開,兩個氣室分別與被測壓力相通,膜上布四個擴散電阻,組成一個測量電橋。
用于腐蝕性介質測量的壓阻式傳感器多采用隔離式結構,壓力通過密室兩邊由不銹鋼等材料制作的隔離膜片,經隔離液傳送到被放置于密室中的單晶硅膜片,使單晶硅膜片上的擴散電阻阻值發生變化。不但解決了耐腐蝕的問題,且提高了傳感器引線的抗沖擊和振動性能,也易于實現過載保護。
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