凈化車間無塵室氣流分類星源潔凈為你解說

在無塵車間的設計和改造過程中，無塵室氣流有很多種，每種方式都有他的優點和缺點，在無塵室設計時一定要根據現場的實際情況進行選擇！一般無塵室分類，無塵室氣流分類，可分為以下幾種，把這幾種氣流方式弄清楚后，就更加容易進行凈化車間設計，無塵室設計了。這頁同時也介紹了無塵室換氣次數。
層流式：
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，此種型式適用于無塵室等級需定較高之環境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。空氣由覆蓋率之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風。
層流式又分為水平層流式和垂直層流式：
    A，水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。

缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
   B，垂直層流式：在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域，房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度。
       優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

是亂流式
亂流式的空氣由空調箱經風管與無塵室內的高效空氣過濾器確進入無塵室，并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。

優點：構造簡單、系統建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

復合式： 復合式是層流式和亂流式復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
 

A，潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。

此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。

B，潔凈管道（Clean Tube）：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

C，并裝局部無塵室（Clean Spot）：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。