三坐標測量機可以代替多種表面測量工具及昂貴的組合量規，能夠對各種零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測，也可以對軟材質或復雜零件進行光學掃描測量。它是在三維空間上通過采集點的三維坐標來評定物體幾何形狀，是集光、電、氣、機械與計算機技術為一體的自動化坐標測量儀器，也是制造業中的重要檢測設備。

一、工作臺

花崗巖具有變形小、穩定性好、耐磨損、不生銹，且價格低廉、易于加工的特點。Mars系列三坐標測量機采用花崗巖來制造固定式的工作臺，使機器具有承載能力強、裝卸空間寬闊、便捷的優點。

二、導軌

三坐標測量機上使用的導軌有滑動導軌、滾動導軌和氣浮導軌，但常用的為滑動導軌和氣浮導軌，滾動導軌應用較少，因為滾動導軌的耐磨性較差，剛度也較滑動導軌低。滑動導軌精度高，承載能力強，但摩擦阻力大，易磨損，低速運行時易產生爬行，也不易在高速下運行。

Mars系列三坐標測量機三軸均采用低熱膨脹系數的花崗巖導軌，使得機器具有良好的溫度適應性，抗時效變形能力，具有精度高、摩擦力小、工作平穩等優點。

將被測零件放入允許的測量空間，三坐標測量機就能精確地測出被測零件表面的點在空間三個坐標位置的數值，然后將這些點的坐標數值經過計算機數據處理，擬合形成測量元素，如圓、球、圓柱、圓錐、曲面等，經過數學計算的方法得出其形狀、位置公差及其他幾何量數據。

三坐標測量機是測量和獲得尺寸數據的有效方法之一。