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臺(tái)階儀在太陽能光伏行業(yè)的應(yīng)用

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2023年06月28日 10:55  

太陽能作為應(yīng)用廣、無排放、無噪聲的環(huán)保能源,在近些年迎來快速發(fā)展,而在各類型的太陽能電池及太陽能充電系統(tǒng)中,多會(huì)鍍一層透明的ITO導(dǎo)電薄膜,其鍍膜厚度對電池片的導(dǎo)電性能有著非常重要的影響,因而需要對鍍膜厚度進(jìn)行檢測與管控。


圖片1.jpg


由于ITO膜具有一定的透光性,而硅基板具有較強(qiáng)的反射率,會(huì)對依賴反射光信號(hào)進(jìn)行圖像重建的光學(xué)輪廓儀造成信號(hào)干擾導(dǎo)致ITO膜厚圖像重建失真,因此考慮采用接觸式輪廓儀對ITO膜厚進(jìn)行測量,由于其厚度范圍從十幾納米到幾百納米,考慮到測量的同時(shí)不損傷樣件本身,因而采用具有超微力可調(diào)和亞納米級(jí)分辨率的臺(tái)階儀最為合適。


臺(tái)階儀是干什么的?在太陽能光伏行業(yè)能測什么?

臺(tái)階儀是一種常用的膜厚測量儀器,它是利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺(tái)階高度來計(jì)算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

圖片2.jpg

CP系列臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢。

針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景,CP200臺(tái)階儀提供如下便捷功能:

1)結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺(tái)的全電動(dòng)載物臺(tái),能夠快速定位到測量標(biāo)志位;

2)對于批量樣件,提供自定義多區(qū)域測量功能,實(shí)現(xiàn)一鍵多點(diǎn)位測量;

3)提供SPC統(tǒng)計(jì)分析功能,直觀分析測量數(shù)值變化趨勢;


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