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氟化氫(HF)濃度報(bào)警器的安裝位置需結(jié)合其物理化學(xué)特性(密度大于空氣、強(qiáng)腐蝕性)和泄漏風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域綜合設(shè)計(jì),具體原則如下:
離地面30-60cm:因氟化氫密度比空氣大,易積聚在低處,需重點(diǎn)監(jiān)測(cè)近地面層。
工藝設(shè)備周邊:如蝕刻機(jī)、反應(yīng)釜、儲(chǔ)罐閥門(mén)、管道接口等易泄漏位置。
通風(fēng)不足區(qū)域:避免安裝于強(qiáng)通風(fēng)口附近(可能稀釋氣體),但確保檢測(cè)點(diǎn)位于氣體擴(kuò)散路徑上。
出入口與通道:確保人員疏散路徑被監(jiān)控。
控制室/休息區(qū):防止氣體通過(guò)空調(diào)系統(tǒng)擴(kuò)散至非工藝區(qū)域。
參考標(biāo)準(zhǔn):如OSHA 1910.119(美國(guó))或GBZ 2.1(中國(guó)),要求報(bào)警器覆蓋所有潛在泄漏源半徑1-2米范圍。
多層級(jí)監(jiān)測(cè):采用固定式+便攜式結(jié)合,固定式覆蓋高風(fēng)險(xiǎn)區(qū),便攜式用于巡檢或臨時(shí)作業(yè)。
腐蝕性防護(hù):選用耐腐蝕外殼(如聚四氟乙烯涂層),避免直接接觸液體氟化氫。
防爆設(shè)計(jì):在易燃區(qū)域選擇防爆型報(bào)警器(符合ATEX或IECEx標(biāo)準(zhǔn))。
區(qū)域 | 安裝位置 | 目的 |
---|---|---|
氟化氫儲(chǔ)罐區(qū) | 罐體底部四周、管道連接處 | 監(jiān)測(cè)儲(chǔ)罐泄漏 |
半導(dǎo)體蝕刻車間 | 設(shè)備排氣口、操作臺(tái)下方 | 捕捉工藝泄漏 |
緊急出口通道 | 距地面40cm墻面 | 保障疏散安全 |
實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)櫥 | 櫥內(nèi)下部 | 防止實(shí)驗(yàn)過(guò)程逸出 |
通過(guò)科學(xué)規(guī)劃安裝位置,可最大限度提升氟化氫泄漏的預(yù)警效能,為應(yīng)急處置爭(zhēng)取關(guān)鍵時(shí)間。
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