一、微小流量熱式氣體質(zhì)量流量計概述
微小流量熱式氣體質(zhì)量流量計采用關(guān)鍵矽微機械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
微小流量熱式氣體質(zhì)量流量計能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。
二、微小流量熱式氣體質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)
1、測量介質(zhì)：空氣，氮氣，二氧化碳，氬氣，氧氣，氫氣，氦氣
2、流量范圍： DN2：20-10000 mL/min；DN3：1000-30000 mL/min
(1)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；
(2)以上流量的標準狀態(tài)20℃，101.325kPa。
(3) 每個口徑量程范圍均可擴大
(4)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨標定
3、允許誤差：±1.5%FS
4、精度保證溫度：15-35℃；
5、工作壓力范圍：
MFM:工作壓力≦1MPa 耐壓：3MPa
MFC：工作壓差：
≦1L/min：0.05-0.3MPa
1-30L/min：0.1-0.3MPa
耐壓：3MPa
6、供電電源：24VDC
7、輸入信號：0-5VDC, RS485通訊
8、輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
9、環(huán)境溫度：5-45℃；
10、顯示位數(shù)：瞬時流量為6位，累積流量8位。
三、微小流量熱式氣體質(zhì)量流量計特點
1、產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門。
2、μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。
3、微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。
4、單個芯片的流量特性的微處理技術(shù)，使流量計的量程范圍大大提高。
5、機電一體化優(yōu)化設(shè)計，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計具有更好的重復(fù)性，實現(xiàn)了計量的準確、可靠。
5、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，MFM流量計的壓力損失達到最小化。
6、采用國際的MF傳感技術(shù)，使流量計工作更穩(wěn)定、可靠。
7、零點自校功能，測量更準確。
8、多種氣體實際標定，全量程補償。
9、快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動存儲，配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。
10、規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨標定。
11、精度等級高，滿足用戶高精度測量要求。
12、的流量計報警功能，使監(jiān)控更可靠。
13、操作、設(shè)置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)。
14、運用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的。