GDMS是[1]輝光放電質譜法(glowdischargemassspectrometry)的簡稱。是利用輝光放電源作為離子源與質譜儀器聯接進行質譜測定的一種分析方法。GDMS在多個學科領域均獲得重要應用。在材料科學領域,GDMS成為反應性和非反應性等離子體沉積過程的控制和表征的工具。GDMS已成為無機固體材料,尤其是高純材料雜質成分分析的強有力方法。1應用領域輝光放電的主要應用是利用其發光效應(如霓虹燈、日光燈)以及正常輝光放電的穩壓效應(如氖穩壓管)。利用輝光放電的正柱區產生激光的特性,制做氦氖激光器。低壓氣體放電的一
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