儀器簡介：
K950X高真空蒸鍍儀在使用碳棒蒸鍍時可給出連續的碳膜，并且使用渦輪分子泵時無污染。它可用于TEM和X-Ray分析中的覆膜，以及SEM中的導電涂層。
在厚度為2nm (20埃)或更厚時膜是連續的。最通常的沉積形式是加熱碳或石墨棒。棒具有特定的形狀以達到電流密度，使得它具有足夠的溫度來引起蒸發。基于這點，出現了細小的、亮的、熱的碳顆粒。此系統需要用擴散泵或渦輪分子泵達到1x10-4 mbar或更高的真空度。
渦輪分子泵在K950X中作為標準配置，此泵作為機械真空泵的后級泵，真空為全自動控制，真空度優于1x10-5 mbar。可進行預熱及除氣控制，同時用瞬時蒸發開關使脈沖蒸發在用戶控制下進行。
標準的旋轉樣品臺可進行傾斜調節，非常容易適應各種樣品座。可選的樣品臺具有特殊的凹槽，可放置標準的載玻片，這在“石棉分析”需要鍍碳層時尤為有利。
碳棒頭在儀器中作為標準件。這是一個“快速釋放頭”，使用戶在選擇金屬蒸發附件、碳絲及光闌清洗頭時可方便地更換。放氣系統具有互鎖裝置，避免樣品受到干擾。渦輪分子泵可安裝在任何軸上，并且可安全地“關閉”直接通大氣。
優點
● 容易操作
● 均勻的樣品涂層
● 方便多用戶操作
● 可用于蒸碳及蒸鍍金屬
● 在排氣過程中可防止樣品損壞
● 碳棒或碳絲蒸發
主要特點：
特點
● 全自動抽氣系統
● 旋轉樣品臺
● 菜單驅動式“用戶”鍵盤輸入
● 快速釋放頭方便選擇不同的頭
● 約束的排氣控制
● 渦輪分子泵抽真空
