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美能探針式臺階儀SP200

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地蘇州市
  • 更新時間2025-02-08
  • 廠商性質其他
  • 所在地區蘇州市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量46
  • 人氣值582
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表面微觀特征是材料、化學、精密制造等領域的主要研究內容,準確地評價表面微觀形貌、表面特征等,對于相關材料的評定、性能的分析和加工工藝的改善都具有重要意義。在半導體、光伏、LED、MEMS器件、材料等領域,表面臺階高度、膜厚的準確測量具有十分重要的價值,尤其是臺階高度是一個重要的參數,對各種薄膜臺階參數的精確、快速測定和控制,是保證材料質量、提高生產效率的重要手段。
美能探針式臺階儀SP200 產品詳情

出色的重復性和再現性

(1)單拱龍門式設計,結構穩定性優異,大大降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。;
(2)線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um 量程下可達0.01 埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。;

超微力恒力傳感器:1-50mg可調

的傳感器設計使得在單一平臺上即可實現超微力和正常力測量。測力恒定可調,以適應硬質或軟質材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制,實現無接觸損傷的精準接觸式測量。

超平掃描平臺

系統配有超高直線度導軌,杜絕運動中的細微抖動,提高掃描精度,真實反映工件微小形貌。

全自動XY載物臺,Z軸自動升降、360°全自動θ轉臺

精密的XY平臺結合360°連續旋轉電動旋轉臺,可以對樣品的位置以及角度進行調節,三維位置均可以調節,利于樣品調整,提高測量效率。

項目 內容
技術測量 探針式表面輪廓測量技術
樣品觀測 光學導航攝像頭:500萬像素高分辨率彩色攝像機,FoV,1700*1400μm
探針傳感器 超低慣量,LVDC傳感器
測量力 0.5-50mg可調
探針選型 探針曲率半徑2μm,夾角60°
Z軸測量重復性 <0.5%
在環境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測量4.7um標準臺階樣塊
平臺移動范圍X/Y 電動X/Y(100mm*100mm)(可手動校平)
樣品R-θ載物臺 電動,360°連續旋轉
單次掃描長度 55mm
樣品厚度 50mm
載物臺晶圓尺寸 150mm(6時),200mm(8時)
臺階高度重復性 <1nm(測量1μm臺階高度,1δ)
傳感器量程 330μm
垂直分辨力 分辨力<0.25 ?(量程為13um時)
掃描速度 2μm/s-10mm/s
儀器電源 100-240 VAC,50/60 Hz
使用環境 相對濕度:濕度(無凝結)30-40% RH
溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)
地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)
音頻噪音:≤80dB
空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)
尺寸和重量 長×寬×高: 640*626*534(mm)
儀器總重量:<>
關鍵詞:傳感器 標準
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