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上海微系統(tǒng)所在雙向高導(dǎo)熱石墨膜研究中取得進(jìn)展

研發(fā)快訊 2025年06月23日 10:38:49來源:中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 1551
摘要該研究揭示了芳綸前驅(qū)體在石墨膜制備中的獨(dú)特優(yōu)勢,證明了氮摻雜與低氧含量前驅(qū)體可提升石墨膜結(jié)晶質(zhì)量和雙向?qū)崽匦裕潆p向?qū)嵝阅芡黄瓶蔀?G芯片、功率半導(dǎo)體等高功率器件熱管理提供關(guān)鍵材料和技術(shù)支撐。

  【儀表網(wǎng) 研發(fā)快訊】隨著電子器件向高性能、小型化發(fā)展,芯片功率密度提升帶來的熱管理問題成為制約器件穩(wěn)定性的關(guān)鍵瓶頸。碳基高導(dǎo)熱材料在面內(nèi)熱導(dǎo)率超過1500 W/m·K時,面外熱導(dǎo)率普遍低于8 W/m·K,甚至只有4-5 W/m·K,難以滿足高功率器件三維熱傳導(dǎo)需求。近日,中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所丁古巧、何朋團(tuán)隊(duì)聯(lián)合寧波大學(xué)王剛團(tuán)隊(duì)在《Advanced Functional Materials》發(fā)表研究,提出以芳綸膜為前驅(qū)體通過高溫石墨化工藝制備低缺陷、大晶粒、高取向的雙向高導(dǎo)熱石墨膜,在膜厚度達(dá)到40微米的情況下實(shí)現(xiàn)面內(nèi)熱導(dǎo)率Kin達(dá)到1754 W/m·K,面外熱導(dǎo)率Kout突破14.2 W/m·K。
 
圖1. 雙向高導(dǎo)熱石墨膜的導(dǎo)熱性能及其在電子熱管理中的應(yīng)用
 
  傳統(tǒng)石墨膜制備以氧化石墨烯或聚酰亞胺為原料,面臨氣體逸散導(dǎo)致的結(jié)構(gòu)缺陷難題。該研究提出選用芳綸膜作為前驅(qū)體,利用其低氧含量(~11%)和氮摻雜特性(氮含量~9%),在3000 ℃高溫處理時實(shí)現(xiàn)缺陷自修復(fù)、晶粒定向生長及氣體逸散優(yōu)化。芳綸中氮原子促進(jìn)晶格缺陷修復(fù),退火后雙向高導(dǎo)熱石墨膜缺陷指標(biāo)ID/IG低至0.008;芳綸分子中有序苯環(huán)為石墨晶格提供生長模板,使面內(nèi)晶粒尺寸(La)達(dá)2179 nm、面外有序堆疊尺寸(Lc)達(dá)53 nm。雙向高導(dǎo)熱石墨膜通過結(jié)構(gòu)調(diào)控展現(xiàn)出優(yōu)異的雙向?qū)嵝阅埽好鎯?nèi)熱導(dǎo)率1754 W/m·K,較同條件下氧化石墨烯衍生膜提升17%;面外熱導(dǎo)率14.2 W/m·K,提升118%,突破碳基薄膜面外熱導(dǎo)率瓶頸;亂層堆垛比例僅1.6%,接近理想石墨AB堆疊結(jié)構(gòu)。與傳統(tǒng)導(dǎo)熱膜相比,雙向高導(dǎo)熱石墨膜在面內(nèi)和面外熱導(dǎo)率及缺陷控制上均表現(xiàn)出顯著優(yōu)勢。在智能手機(jī)散熱模擬中,搭載雙向高導(dǎo)熱石墨膜的芯片表面最高溫度從52 ℃降至45 ℃;在2000 W/cm²熱流密度的高功率芯片散熱中,AGFs使芯片表面溫差從50 ℃降至9 ℃,實(shí)現(xiàn)快速溫度均勻化。
 
圖2. 雙向高導(dǎo)熱石墨膜制備機(jī)制示意圖
 
  該研究揭示了芳綸前驅(qū)體在石墨膜制備中的獨(dú)特優(yōu)勢,證明了氮摻雜與低氧含量前驅(qū)體可提升石墨膜結(jié)晶質(zhì)量和雙向?qū)崽匦裕潆p向?qū)嵝阅芡黄瓶蔀?G芯片、功率半導(dǎo)體等高功率器件熱管理提供關(guān)鍵材料和技術(shù)支撐。相關(guān)成果以“Bidirectionally High‐Thermally Conductive Graphite Films Derived from Aramid for Thermal Management in Electronics”為題發(fā)表于Advanced Functional Materials. 2025, 2425824. (https://doi.org/10.1002/adfm.202425824),論文第一作者為中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所博士生鄭豪龍、楊舒景,研究獲國家自然科學(xué)基金等項(xiàng)目支持。

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