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西安夏溪電子科技有限公司
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X射線光電子能譜分析儀(XPS)解決方案

時間:2022/4/8閱讀:1284
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測試原理:

XPS的原理是用X射線去輻射樣品,使原子或分子的內層電子或價電子受激發射出來。被光子激發出來的電子稱為光電子。可以測量光電子的能量,以光電子的動能/束縛能(binding energyEb=hv光能量-Ek動能-w功函數)為橫坐標,相對強度(脈沖/s)為縱坐標可做出光電子能譜圖。從而獲得試樣有關信息。

 

1.  測試項目:全譜,精細譜,價帶譜,XPS深度刻蝕、微區XPS

2.  樣品要求:(需提供樣品含有的元素,包括氧)

塊狀和薄膜樣品,需標記好測試面(表面平整,樣品干燥),長寬小于10mm,高度小于3mm(建議尺寸小于5×5×2mm,大尺寸樣品需確認);(塊體/薄膜樣品表面請用乙醇擦拭干凈或抽真空來樣,接觸空氣容易受CNOSi等元素污染) 

粉末樣品,不少于10mg(樣品需干燥)

磁性樣品可測試,需在測試前溝通。

XPS深度刻蝕需提供:提供詳細測試過程,刻蝕要求。如刻蝕能量、刻蝕次數、單次刻蝕時間等要求,如2kV能量,速率0.1nm/s,單次刻蝕300s后,總計刻蝕4次,采集刻蝕前、后的譜圖;

微區XPS需提供:測試區域200~300um100~200um50~100um10~50um

3.  應用范圍:用于各種有機和無機固體材料的表面元素和其價態的定性,定量分析,可用于腐蝕,摩擦,浸潤,粘接,催化,包覆,氧化等表面和界面過程的研究。

定性:元素種類及價態信息(可以分析除HHe以外的所有元素)

定量:半定量,屬于表面靈敏型測試

成像:元素XPS二維成像

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