北京中科科美科技股份有限公司
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Φ70x4060集熱管鍍膜生產線，產線主體Φ1500x6000水冷真空腔室4段，依次為預處理室、工藝1室、工藝2室和出樣室；產線配移動式公自轉工裝架及工裝架閉環輸送系統，工裝架裝載量20只（Φ70）；工裝架閉環輸送系統由橫移車及直線輸送線組成，在閉環輸送系統中工裝架自動運行。預處理室、工藝1室帶加熱，加熱溫度300℃。工藝1室配2只圓柱靶或內裝平面靶，接直流電源用于沉積底層金屬，工藝2室配2對孿生......
一、設備特點：
Φ70x4060集熱管鍍膜生產線，產線主體Φ1500x6000水冷真空腔室4段，依次為預處理室、工藝1室、工藝2室和出樣室；產線配移動式公自轉工裝架及工裝架閉環輸送系統，工裝架裝載量20只（Φ70）；工裝架閉環輸送系統由橫移車及直線輸送線組成，在閉環輸送系統中工裝架自動運行。預處理室、工藝1室帶加熱，加熱溫度300℃。工藝1室配2只圓柱靶或內裝平面靶，接直流電源用于沉積底層金屬，工藝2室配2對孿生靶接中頻電源；沉積AL、Ti、Si等構成的多層陶瓷本征吸收層；系統除裝卸件外，均自動運行，自動化程度較高，滿足光干涉膜、金屬陶瓷膜等選擇性吸熱膜的批生產需要。
二、性能參數：
1. 生產線尺寸：36655(L)X17500(W)X7000(H)
2. 集熱管尺寸：直徑范圍Φ70-120, 長度4060；
3. 集熱管性能：吸收率≥95% 發射率 ≤9%（300℃）；
4. 設備產能：5萬支/年（20只裝）；
5. 極限真空：8x10-4Pa，本底真空：3.2x10-3Pa；
6. 工藝加熱溫度（預處理室、工藝1室）：300℃ 鎧裝加熱組件；
7. 磁控靶位：工藝1室：2只；工藝2室：2對孿生靶；
8. 磁控電源：直流 2套 中頻 2套；
9. 真空系統：分子泵/前級機組+羅茨粗抽機組；
10. 工藝氣體：3路，MFC；反應氣體6段供氣，各獨立可控；
11. 隨行工裝架數量：6套（20只裝）；
12. 真空腔室隔離閥：Φ1500氣動插板閥 4套；
13. 控制系統：PC+PLC控制模式，自動/手動/修理調試功能轉換；多種工藝參數儲存，多種互鎖安全保護；
14. 系統水電氣：總裝機功率：約830KW
冷卻循環水量：80-100M3/H
壓縮空氣耗量：2M3/H
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