2025/01/10
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傳輸矩形閥的介紹
傳輸矩形閥是一種專為高真空或超高真空系統設計的高性能閥門
結構設計
整體布局：采用緊湊合理的設計，所有移動件都位于大氣側，這樣可以保證在真空側減少微塵顆粒的產生，避免對真空系統造成污染。
驅動機構：通常采用氣動驅動模式，驅動機構包括缸體、活動塊、活動軸、行程驅動組件、波紋管等部件。通過氣咀進氣和放氣實現活塞在腔體內活動，進而帶動推桿、活動塊和活動軸活動，最終驅動閥板貼合閥體內壁活動，實現閥門的開啟和關閉1。
密封結構：閥體密封門可以快速拆卸，便于更換 o-ring 密封圈。當氣壓損失時，閥門底部的逆止閥可以保證閥板密封件自動鎖緊，防止泄漏。
性能特點
快速響應：開啟 / 關閉的最快時間不超過 1s，能夠快速滿足系統的通斷需求，提高生產效率。
低壓力差：當閥門開啟時，壓力差值小于 10mbar，可有效降低對系統壓力的影響，確保系統的穩定性。
高潔凈度：由于移動件位于大氣側以及密封結構的優化，減少了微塵顆粒的產生和進入真空系統的可能性，保證了真空系統的高潔凈度。
良好的耐用性：閥體材料可選擇不銹鋼或者鋁合金材質，表面可以做電解拋光或者硬質陽極氧化處理，具有較強的抗腐蝕能力，能抵御潮濕、酸堿等惡劣環境侵蝕。
應用領域
主要應用于半導體、光電產業的鍍膜設備中，以及需要精確控制真空壓力的生產線與過渡腔室、傳輸系統與工藝腔室之間
