MEGATORR閥門壓力控制器AP-420

MEGATORR閥門壓力控制器AP-420

壓力控制器AP-420

AP系列是電容計量器（壓力真空計）和槽閥組合使用的壓力控制器。可以從自適應/PID/混合動力3種類型中選擇控制方式，確保半導體/FPD/太陽能電池等制造裝置所要求的高速應答、高再現性的真空壓力控制。也可以通過前面板進行設定，操作性非常容易。另外，由于CE標志、RoHS對應產品，被世界上所有產業的量產設備所使用

壓力控制器AP-100R

Model AP-100R將制造裝置中的真空室進行真空排氣時，通過改變閥門電導，作為控制真空排氣速度的下游壓力控制裝置使用。

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