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測量范圍：200mm ×100 mm
分辨率：0.0002mm
準確度：(1+L/100)μm（其中L為被測長度，
單位為mm）
工作臺
方工作臺尺寸：260mm×270mm
方工作臺承放工件高度：140mm
工作臺承重：40kg
主顯微鏡立柱
傾斜范圍：±12°
傾斜角度分度值：30′
物鏡
CCD 攝像頭
1/3英寸彩色（或黑白）CCD
像素數：795×596
光學定位器
最小探測孔徑: φ5mm
探測深度：15mm
測量力：0.1N
測頭直徑的檢定極限誤差：0.0005mm
環境要求：室溫20℃±1℃，相對濕度40％－60％RH
儀器外形尺寸(mm) : 長1300×寬1250×高800
儀器質量： 450kg
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